D. Toutes résines photosensibles (résists) optimisées pour des technologies de formation d ' images de surface, notamment résines photosensibles à `silylation ' . 優(yōu)化用于表面成像技術的所有抗蝕劑,包括甲硅烷基化的抗蝕劑。
Les techniques de `silylation ' sont des procédés qui comportent l ' oxydation de la surface de la résine photosensible pour améliorer les performances de développement humide ou à sec. 甲硅烷基化技術被定義為利用抗蝕劑表面的氧化作用加強濕式和干式顯影性能的過程。
Les précurseurs et les produits de dégradation de ces agents (et de plusieurs milliers d ' autres substances) peuvent être détectés sur le plan qualitatif soit par injection directe de l ' extrait soit par dérivation des agents de silylation. 這些試劑(以及數以千計的其他化合物)的先質和降解產物,可以通過直接注入提取物或用甲硅烷基化合物衍生法作定性檢測。